百級潔凈室
100級潔凈間的氣流形式是層流方式，空氣以均勻的斷面速度沿平行流線(xiàn)流動(dòng)，與流體力學(xué)的層流概念不太相同，具體講就是垂直層流側回風(fēng)。和百級以上潔凈間所采用的混流或亂流方式（即空氣以不均勻的速度呈不平行流線(xiàn)流動(dòng)）相比較，它具有效果完全、運轉迅速穩定、粉塵堆集與再飄浮極少，以及管理容易等優(yōu)點(diǎn)，但是設備造價(jià)非常高，維護費用也很高。
潔凈度：粒徑大于等于0.1微米的最大微粒數不能大于100個(gè)。
壓差及溫濕度：溫度22℃±2；濕度55%±5；基本需要滿(mǎn)布ffu，做高架地板。做MAU+ffu+DC系統。還有保持正壓，相鄰房間壓力梯度保證在10pa左右。
照度：
由于無(wú)塵潔凈室的工作內容大多有精細的要求，而且又都是密閉性房屋，所以，對照明一向有很高的要求。主要有以下幾點(diǎn)：
局部照明：這是指為增加某一指定地點(diǎn)的照度而設置的照明。但在室內照明中一般不單獨使用局部照明。
混合照明：指工作面上的照度由一般照明和局部照明合成照明，其中，一般照明的照度應占總照度的10%-15%。
根據《潔凈廠(chǎng)房設計規范》編制組的調查，對工作認為比較合適的最低照度作了統計，其結果略高于150lx。因此，將一般照明的下限值定為150lx是合適的，雖然在300lx時(shí)有更高的工作效率。根據大量驗收測定發(fā)現，最低照度值達到200lx以上就比較困難，實(shí)際上150lx已相當亮了，因為平均照度要高于它很多.工作區內用平均照度意義不大，因為有若干點(diǎn)在150lx以下，就不適合工作。對于特別要求高照度操盤(pán)點(diǎn)可以采用局部照明，而不宜普遍提高整個(gè)車(chē)間的最低照度標準。除可利用局部照明外，必要時(shí)也可利用自然光，當平面上有外廊時(shí)就可以做到這一點(diǎn)。
 
千級潔凈室標準
要了解千級潔凈室，我們先來(lái)了解“無(wú)塵”這個(gè)概念。按照國際慣例，無(wú)塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數量來(lái)規定。也就是說(shuō)所謂無(wú)塵并非100%沒(méi)有一點(diǎn)灰塵，而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當然這個(gè)標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見(jiàn)的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微，但是對于光學(xué)構造而言，哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì )產(chǎn)生非常大的負面影響，所以在光學(xué)構造產(chǎn)品的生產(chǎn)上，無(wú)塵是必然的要求。
潔凈度：
每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數量控制在3500個(gè)以下，就達到了國際無(wú)塵標準的A級。目前應用在芯片級生產(chǎn)加工的無(wú)塵標準對于灰塵的要求高于A(yíng)級，這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。微塵數量被嚴格控制在每立方米1000個(gè)以?xún)?，這也就是業(yè)內俗稱(chēng)的1K級別。
壓差：
對于大部分凈化無(wú)塵車(chē)間，為了防止外界污染侵入，需要保持內部的壓力（靜壓）高于外部的壓力（靜壓）。壓力差的維持一般應符合以下原則:潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力;潔凈度級別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級別低的空間的壓力;相通潔凈室之間的門(mén)要開(kāi)向潔凈度級別高的房間。
壓力差的維持依靠新風(fēng)量，這個(gè)新風(fēng)量要能補償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量。所以壓力差的物理意義就是漏泄（或滲透）風(fēng)量通過(guò)潔凈室的各種縫隙時(shí)的阻力。
 
溫濕度：常規是溫度22±2度，濕度55±5%。
 
萬(wàn)級凈化車(chē)間標準
世界各國均有自定規格，但普遍依據美國聯(lián)邦政府頒布的標準【Federal Standard (FS) 209E, 1992】，可將無(wú)塵室分為六級。分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級，如果無(wú)塵室的等級只用塵粒數目來(lái)敘述，則可假設塵粒的尺寸為0.5μm，例如，1級、10級、100級無(wú)塵室最大塵粒數目分別小于或等于1顆、10顆、100顆，如果塵粒尺寸不是0.5μm，無(wú)塵室等級應以在一特定塵粒尺寸的級數來(lái)表示。例如：10級在0.2μm(塵粒尺寸在0.2μm或更大下，密度不大于75顆/立方英尺)，1級在0.1μm(塵粒尺寸在0.1μm或更大下，密度不大于35顆/立方英尺)。
潔凈度：潔凈度10000級cleanliness class 10000（P2萬(wàn)級實(shí)驗室即ISO7級）即大于等于0.5μm的塵粒數大于35000粒／m3 (35粒/L)到小于等于350000粒／m3(350粒／L)；大于等于5μm的塵粒數大于300粒／m3(0.3粒/L)到小于等于3000粒／m3(3粒/L)。
壓差及溫濕度控制：
1）溫度:干盤(pán)管系統控制。
2）濕度:空調箱調節通過(guò)感測的信號,控制三通閥開(kāi)度來(lái)調節空調箱盤(pán)管進(jìn)水量。
3）正壓:空調箱調節,根據靜壓感測的信號,自動(dòng)調節空調箱馬達變頻器的頻率,從而調節進(jìn)入室內的新風(fēng)量。
 
檢測標準：
氣流速度及其均勻度檢測，是無(wú)塵室效果的其他各項檢測的前提，這項檢測的目的是為了明確單向流無(wú)塵室工作區的平均氣流通度及其均勻性。
1）室內潔凈度的檢測：潔凈度的檢測是為了確定潔凈環(huán)境可達到的空氣潔凈度級別，可采用粒子計數器檢測。
2）自?xún)魰r(shí)間的檢測：通過(guò)確定自?xún)魰r(shí)間，查明潔凈室內部發(fā)生污染時(shí)恢復其原有潔凈度的能力。
3）照度的檢測：照度檢測的目的是為了判明潔凈室的照度水平和照度的均勻性。
4）振動(dòng)的檢測：振動(dòng)檢測的目的是為了判明無(wú)塵室各表明的振動(dòng)幅度。
5）溫、濕度的檢測：溫、濕度檢測的目的是把溫度、濕度調整到一定限度內的能力。其內容包括檢測無(wú)塵室的送風(fēng)溫度，檢測有代表性測點(diǎn)的空氣溫度，檢測無(wú)塵室中心點(diǎn)的空氣溫度，檢測敏感元件處的空氣度，檢測室內空氣相對溫度，檢測回風(fēng)溫度。
 
10萬(wàn)級凈化車(chē)間標準
10萬(wàn)級凈化車(chē)間的潔凈度算起來(lái)并不算太高，包括一般的電子，食品飲料，醫療器械，化妝品廠(chǎng)等。
潔凈度：
100000（10萬(wàn)）級潔凈室是指工作車(chē)間里面每立方米的微?？刂圃?0W以?xún)?潔凈室的生產(chǎn)車(chē)間主要用與電子行業(yè)和藥品行業(yè)，食品行業(yè)如果有10萬(wàn)級的生產(chǎn)車(chē)間是相當不錯的。100000（10萬(wàn)）級潔凈室要求每小時(shí)換氣15-19次，完全換氣后空氣凈化時(shí)間不超過(guò)40分鐘。
壓差：
相同潔凈度等級的潔凈室壓差保持一致，對于不同潔凈等級的相鄰潔凈室之間壓差要≥5Pa，潔凈室與非潔凈室之間要≥10Pa。
溫濕度：
十萬(wàn)級潔凈室對溫度、濕度無(wú)特殊要求時(shí)，以穿著(zhù)潔凈工作服不產(chǎn)生舒服感為宜，溫度一般控制在冬季20~22℃；夏季 24~26℃；波動(dòng)±2℃。冬季潔凈室濕度控制在30－50％，夏季潔凈室濕度控制在50－70％。
照度：
潔凈室（區）的主要生產(chǎn)用房一般照度值宜≥300Lx;輔助工作室、人員凈化和物料凈化用室、氣閘室、走廊等的照度值宜為200~300Lx。
送風(fēng)量或風(fēng)速
足夠的通風(fēng)換氣量是為了稀釋和排除室內污染空氣，根據不同的潔凈度要求，當潔凈室凈高較高時(shí)，適當增加換氣次數。當10萬(wàn)級潔凈室高效過(guò)濾器集中布置在機房或系統末端采用亞高效過(guò)濾器時(shí)，可適當提高換氣次數10-20%。
 
30萬(wàn)級凈化車(chē)間標準
空氣潔凈度是潔凈環(huán)境中空氣含懸浮粒子量的多少的程度。通?？諝庵泻瑝m濃度低則空氣潔凈度高，含塵濃度高則空氣潔凈度低。按空氣中懸浮粒子濃度來(lái)劃分潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境中空氣潔凈度等級，就是以每立方米空氣中的最大允許粒子數來(lái)確定其空氣潔凈度等級。
藥廠(chǎng)房一般有萬(wàn)級，十萬(wàn)級和三十萬(wàn)級，其中以十萬(wàn)級（灌裝，內包裝）及三十萬(wàn)級最多，十萬(wàn)級較三十萬(wàn)級潔凈度衛生要嚴格很多。
潔凈度：
每立方米大于或等于0.5μm的塵粒最多不能超過(guò)10，500，000個(gè)；每立方米大于或等于5μm的塵粒最多不能超過(guò)60，000個(gè)；每立方米浮游菌數量最多不能超過(guò)1000個(gè)。
壓差及溫濕度控制：
壓差：不同潔凈級別潔凈室(區)之間，靜壓差大于或等于5PA；潔凈室(區)與室外，靜壓差大于或等于10PA。
溫濕度：溫度——18~28℃；濕度——45~65%。
換氣次數：
每小時(shí)換氣次數不能小于12次。
 
百萬(wàn)級凈化車(chē)間標準
潔凈空間單位體積空氣中，以大于或等于被考慮粒徑的粒子最大濃度限值進(jìn)行劃分的等級標準。
 
潔凈室的空氣潔凈度測試：
空態(tài)測試：潔凈室已竣工，凈化空氣調節系統已處于正常運行狀態(tài)，室內沒(méi)有工藝設備和生產(chǎn)人員的情況下進(jìn)行測試。
靜態(tài)測試：潔凈室凈化空氣調節系統已處于正常運行狀態(tài)，工藝設備已安裝，室內沒(méi)有生產(chǎn)人員的情況下進(jìn)行測試。
動(dòng)態(tài)測試潔凈室已處于正常生產(chǎn)狀態(tài)下進(jìn)行測試：
潔凈室的風(fēng)量、風(fēng)速、正壓、溫度、濕度、噪聲的檢測，可按一般通用、空氣調節的有關(guān)規定執行。
 
百萬(wàn)級空氣潔凈度標準：
每立方米大于等于0.5μm的塵粒數不能大于35200000個(gè)；每立方米大于等于1μm的塵粒數不能大于8320000；每立方米大于等于5μm的塵粒數不能大于293000。
 
送風(fēng)量或風(fēng)速：
足夠的通風(fēng)換氣量是為了稀釋和排除室內污染空氣，根據不同的潔凈度要求，當潔凈室凈高較高時(shí)，適當增加換氣次數。其中，100萬(wàn)級潔凈室的通風(fēng)量是按高中效凈化系統考慮，其余均按高效凈化系統考慮。
 
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